Glossar

PECVD

Bei dem sogenannten Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition PECVD nutzt man einen physikalischen Effekt, um auch temperatursensiblere Materialien behandeln zu können. Üblicherweise hat man früher im reinen CVD Verfahren bei mehreren Hundert Grad Celsius die Behandlungen vorgenommen. Dabei ist die Auswahl an möglichen Werkstoffen natürlich sehr beschränkt. Beim PECVD nun ergeben sich häufig Temperaturen nur wenig oberhalb der Raumtemperatur, so dass vor allem auch Elastomere und Kunststoffe behandelt werden können. Durch das PECVD – Verfahren kann man reinigen, modifizieren und auch beschichten.

Das Unternehmen PLASMA ELECTRONIC GmbH bietet nun diverse Plasma Prozesse im PECVD – Verfahren durchgeführt an

Kombinierte Arc / PVD / PECVD-Anlage (Kammervolumen ca. 10m³)
Kombinierte Arc / PVD / PECVD-Anlage (Kammervolumen ca. 10m³)
CARBOCER©: Auf den nicht beschichteten Plättchen sieht man sehr gut die Korrosion
CARBOCER©: Auf den nicht beschichteten Plättchen sieht man sehr gut die Korrosion
Ritzelwellen in Lackierpumpen werden mit CARBOCER© beschichtet. Sie halten dadurch deutlich länger und die Farbe läßt sich schneller durch die hydrophobe Oberfläche wechseln.
Ritzelwellen in Lackierpumpen werden mit CARBOCER© beschichtet. Sie halten dadurch deutlich länger und die Farbe läßt sich schneller durch die hydrophobe Oberfläche wechseln.
Homogene Oberflächenbeschichtung durch PE-ALD
Homogene Oberflächenbeschichtung durch PE-ALD
Ein Abluftblech mit und ohne Pyrolyseschutz:
Ein Abluftblech mit und ohne Pyrolyseschutz:
Vakuumbeschichtung mittels PECVD – Anlage PORTA 900
Vakuumbeschichtung mittels PECVD – Anlage PORTA 900
Wenn man allerdings 3D – Bauteile beschichtet, sieht man eine deutliche Farbverteilung
Wenn man allerdings 3D – Bauteile beschichtet, sieht man eine deutliche Farbverteilung
Auf planaren Substraten ergibt sich eine homogene Farbverteilung. Der farbliche Effekt kommt lediglich durch einen optischen Interferenzeffekt zustande und bedeutet keine Änderung in der Prozessführung. Sobald sich die Schichtdicke ein wenig ändert, kommt eine andere Farbe zustande.
Auf planaren Substraten ergibt sich eine homogene Farbverteilung. Der farbliche Effekt kommt lediglich durch einen optischen Interferenzeffekt zustande und bedeutet keine Änderung in der Prozessführung. Sobald sich die Schichtdicke ein wenig ändert, kommt eine andere Farbe zustande.
Bild einer PECVD-Anlage zur Beschichtung einer Barriere im Lebensmittelverpackungsbereich
Bild einer PECVD-Anlage zur Beschichtung einer Barriere im Lebensmittelverpackungsbereich

Dazu kommen noch Beschichtungen, die als Haftvermittlung häufig als Ersatz von Primern eingesetzt werden. Alle diese PECVD – Verfahren werden als Lohnbeschichtung wie auch als Invest angeboten.

+49 7631 7017-0
info@plasma-electronic.de

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